En este trabajo se muestran las caracter'sticas texturales de l ‡minas de Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 preparadas por sol-gel sobre tres substratos diferentes: Pt/Ti/SiO 2 /Si, Ti/Pt/Ti/SiO 2 /Si y Pt/TiO 2 /SiO 2 /Si. Las l ‡minas se depositaron mediante la tŽcnica de centrifugaci-n de la soluci-n precursora, con una concentraci-n muy baja, sobre el substrato, y su posterior secado a 350¼C y cristalizaci-n a 650¼C, utilizando una velocidad de caldeo de ~30.4s¼C/s. Cada capa de ferroelŽctrico obtenida despuŽs de este proceso ten'a un espesor de ~75 nm. De esta forma se depositaron cuatro capas sucesivas de ferroelŽctrico hasta alcanzar un espesor de la l ‡mina de ~300 nm. La textura de las l ‡minas de Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 sobre los distintos substratos se estudi-mediante difracci-n de rayos X. La fases cristalinas existentes sobre la superficie de cada uno de los substratos se identificaron mediante difracci-n de rayos X con ‡ngulo rasante. La l ‡mina de Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 depositada sobre Ti/Pt/Ti/SiO 2 /Si present-una orientaci-n preferente en el eje 111 de la perovskita. En esta muestra se midi-un coeficiente piroelŽctrico espont ‡neo de γ~-6.49×10 -9 Ccm -2 K -1 .
Palabras clave: sol-gel, l ‡mina delgada, perovskita, textura.
Effect of processing parameters and substrate on the preferred orientation of Sol-Gel calcium modified lead titanate thin filmsIn this work the characteristics of the texture of sol-gel Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 deposited onto three different substrates: Pt/Ti/SiO 2 /Si, Ti/Pt/Ti/SiO 2 /Si y Pt/TiO 2 /SiO 2 /Si, are studied. The films were prepared by spin-coating the precursor solution, with a low concentration, onto the substrates and by further drying at 350¼C and crystallisation at 650¼C, with a heating rate of ~30.4s¼C/s. Each of the deposited layers had a thickness of ~75 nm. Four successive layers were deposited to obtain a film thickness of ~300 nm. Texture of the Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 films on the different substrates was studied by means of X-ray diffraction. The crystalline phases present at the substrates surfaces were identify by means of grazing incidence X-ray diffraction. The Pb 0.76 Ca 0.24 TiO 3 film on the Ti/Pt/Ti/SiO 2 /Si substrate developed a <111> preferred orientation. A spontaneous pyroelectric coefficient of γ~-6.49×10 -9 Ccm -2 K -1 was measured in this sample.Keywords: sol-gel, thin film, perovskite, texture.
INTRODUCCIONEntre los distintos procedimientos de preparaci-n de l ‡mina delgada, se encuentra el mŽtodo sol-gel. Este se engloba dentro de las tŽcnicas qu'micas de dep-sito de l ‡mina y presenta indudables ventajas frente a otras tŽcnicas de dep-sito como son su bajo coste y el alto control estequiomŽtrico y alta reactividad del sistema qu'mico depositado (1). Sin embargo, el solgel se ha venido considerando como una tŽcnica de dep-sito poco apropiada para la obtenci-n de pel'culas orientadas.En el caso de las l ‡minas ferroelŽctricas basadas en el titanato de plomo, la obtenci-n de dep-sitos con un alto grado de orientaci-n en la direcci-n polar de la perovs...