Combined computer-generated hologram for testing steep aspheric surfaces

Abstract

A novel type of a combined (or multiplex) computer-generated hologram (CGH) and a method for interferometric testing of steep axially symmetric aspheres is presented. The method is based on a hybrid CGH containing two different diffractive structures. The presented new type of Diffractive Fizeau Null Lens (DFNL) design eliminates the transmitted wavefront distortion (TWD) of the CGH substrate and increases the accuracy of the surface test. The method was approved by testing a spherical reference mirror with an f-number of f/0.65.

Laser interferometers for control of optical surface shape

“…In order to test flat and spherical surfaces the standard commercial interferometers are used, and in order to test aspherical surfaces (AS) they are complemented [14] CGH. However, use of CGH has a number of peculiarities, such as presence of parasitic diffraction orders (DO), low diffraction efficiency, required high accuracy of CGH adjustment, etc.…”

“…В настоящее время выпуска-ются приборы следующих моделей: OPTOTL-ICO -60 (поле 60 мм, λ = 0,532 мкм, погрешность измерения δ ≈ 1/20 λ) [10] Для контроля плоских и сферических поверх-ностей применяются обычные коммерческие интерферометры, а для контроля асферических поверхностей (АП) они дополняются СГ [14]. Однако применение СГ имеет ряд особенностей, таких как наличие паразитных дифракционных поряд-ков (ДП), низкой дифракционной эффективности, требуемой высокой точности юстировки СГ и др.…”

“…Одним из путей устранения указанных недостатков является применение так называемых "комбинированных синтезиро-ванных голограмм" [14,21]. Такие голограммы позволяют форми-ровать два и более независимых волновых фронта с помощью одного элемента.…”

“…One of the ways for elimination of specified disadvantages consists in the application of so-called "combined computer-generated holograms" [14,21]. Such holograms allow generating two and more independent wavefronts На рис.…”

“…В предложенной схеме подложка комбинированной СГ включена в общий ход световых пучков и ее неоднородности не вли-яют на точность измерения. Эталонные комби-нированные СГ по техническим показателям превосходят обычные ЭО [14], а по стоимости они дешевле.…”