“…Diantara teknik tersebut, teknik-teknik pembuatan film secara fisika seperti sputtering, electron beam evaporation, pulsed laser deposition, dan physical vapor dilaporkan memiliki kekurangan yaitu luas daerah pembentukan film kecil, membutuhkan instrumen yang canggih, biaya operasi yang tinggi, dan setiap sudah digunakan sistem harus sangat bersih (Shinde et al, 2007). Teknikteknik pembuatan film secara kimia seperti chemical vapor deposition dilaporkan tidak memadai untuk produksi film secara besar-besaran karena membutuhkan peralatan tambahan seperti vacuum equipment (Young et al, 2006). Pada penelitian ini, dilakukan studi pembuatan film ZnO dengan doping alumunium rendah (ZnO:Al, Al/Zn = 1,0 x 10 -2 ) dengan teknik screen printing pada temperatur anealing 300, 400, 500 dan 600 o C. Teknik screen printing dipilih karena prosesnya mudah dan telah digunakan untuk memproduksi sel surya, paristor, detektor UV (Krisnan dan Nampoori, 2005; Overstraeten dan Mertens, 1986).…”