2020
DOI: 10.1016/j.mssp.2020.105036
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Ca2Si(100) epitaxial films on the Si(111) substrate: Template growth, structural and optical properties

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1
1

Citation Types

0
22
0
16

Year Published

2022
2022
2023
2023

Publication Types

Select...
7

Relationship

0
7

Authors

Journals

citations
Cited by 10 publications
(38 citation statements)
references
References 24 publications
0
22
0
16
Order By: Relevance
“…The substrate was a single-crystal silicon with (111) orientation and a misorientation angle of 4° (vicinal Si(111)-4° surface). An atomically clean sample surface was obtained using a series of high-temperature and short-term annealings at 1150 °C that were previously described in detail for the singular Si(111) [ 28 ] and high-index Si(55 12) [ 29 ] surfaces. The sample temperature was controlled using a PhotriX ML-AAPX infrared pyrometer.…”
Section: Methodsmentioning
confidence: 99%
“…The substrate was a single-crystal silicon with (111) orientation and a misorientation angle of 4° (vicinal Si(111)-4° surface). An atomically clean sample surface was obtained using a series of high-temperature and short-term annealings at 1150 °C that were previously described in detail for the singular Si(111) [ 28 ] and high-index Si(55 12) [ 29 ] surfaces. The sample temperature was controlled using a PhotriX ML-AAPX infrared pyrometer.…”
Section: Methodsmentioning
confidence: 99%
“…Для сапфировых подложек атомарно-чистую поверхность Al 2 O 3 (0001)1×1 получали отжигом в СВВ-камере при температуре не выше 830 о С, что обеспечивало сохранение гладкой поверхности без ее термического растравливания. Для повторения методики роста жертвенного слоя Mg 2 Si [17] на атомарно-чистой поверхности сапфира сначала формировали аморфный слоя кремния толщиной около 10 нм путем осаждения атомов кремния при комнатной температуре, на котором выращивали методом реактивной эпитаксии при 150 о С тонкую пленку Mg 2 Si (образец А, таблица). Реактивное осаждение атомов кальция с малой скоростью при температуре 250 о С позволило преобразовать жертвенный слой Mg 2 Si на сапфире, как было установлено ранее на кремниевых подложках [17], в затравочный слой Ca 2 Si, на котором потом выращивалась пленка Ca 2 Si большей толщины методом молекулярно-лучевой эпитаксии.…”
Section: экспериментunclassified
“…Для выращенных толстых эпитаксиальных пленок Ca 2 Si на кремнии исследована их структура, оптические свойства и фононная структура [17], что позволило только установить в них формирование прямого межзонного перехода при энергии 1.095 эВ и впервые идентифицировать пики комбинационного рассеяния света и пики ИК-поглощения. Но обнаруженный прямой межзонный переход не является фундаментальным, поскольку маскируется поглощением на высокой плотности дефектных состояний в области энергий фотонов 0.5 -1.0 эВ, близкой к бездисперсионной области в Ca 2 Si [17]. Идентификация более высокоэнергетических переходов в пленках Ca 2 Si была невозможна за счет их роста на кремниевой подложке с ограничением ее прозрачности выше 1.12 эВ [19].…”
Section: Introductionunclassified
See 1 more Smart Citation
“…Поскольку Ca 2 Si относится к прямозонным полупроводникам по данным первопринципных расчетов с шириной запрещенной зоны от 0.30 -0.36 эВ [20 -22] до 1.02 эВ [23], то в последние годы начал проявляться интерес к исследованию его легирования примесями n-и p-типа для создания диодных структур и исследования возможности излучательной рекомбинации. Рост плотных пленок Ca 2 Si на кремнии методом замещения магния кальцием в силициде магния [18,19] не мог быть реализован из-за частичной десорбции магния и формирования пористой структуры Ca 2 Si. Для роста пленок Ca 2 Si на кремнии данный метод был трансформирован путем создания упорядоченного жертвенного двумерного слоя Mg 2 Si, который затем трансформировался в затравочный слой Ca 2 Si малой толщины с частично упорядоченной структурой [19].…”
Section: Introductionunclassified