ky diodes. prepared by dcposit.ing gold onto single crystal CdS subjected t o a variet,y of surface treatments. are invest,igated in the EI3IC mode in a scanning electron microscope. The changes in the contrast, observed when the polarity of the applied hias is changed are explained in terms of the penetration of the incident beani, and the voltage dependence of the width of the depletion region. Devicrs fabricated on surfaces which are nierhnnically polished exhibit features associated with localised defects. where the contrast,rcverses wit,li change i n polarity of the applied bias. This behavioiir is shown to resemble that of MIS devices in wliicli t,hc insulating layer of silicon monoxide contained pinholes. A niodel is proposed to account for thc observed phenorncnu.Schottky-Dioden. die diirch das ilufbringcn von Gold aiif C!dS-Einkristalle mit untcrschiedlichen Oherflaclienbcliandlungeli 1icrgest.ellt werdcn, werdcn in der EBIC-Met,hode in einem Rasterclektronenmikroskop untcrsucht. Die bei der h d e r u n g dcr Polaritat der angelegten Vorspannnng beobachteten IContrastanderiingen werden mit den1 Eindringen des einfallenden Strahls und der Spannuiigsabharigiglreit der Breite des Verarrn~itigsbereiclis erklart. Eleniente, die auf mechanisch policrt,en Oberfliichen hergestellt werden. zcigen ein Vrrhalten. c1a.s sich mit der PolaritLtsanderung der Vorspannung umltchrt. Es wird gezeigt das dicses Verhalt,en dein von MIS-Bauelement,en Lhnelt, in denen die lsolntionsschiclit~ 1-on Silizinninionosid ..pinholes" enthblt. Kin Modell zur Erkliirung der beoba,clit,?ten Ph~nomene a.ird vorgeschlagen.