AbstrakHeterojunction adalah sambungan yang dibentuk antara dua material semikonduktor dengan bandgap yang berbeda yang mempunyai ketipisan di bawah 50nm yang menumbuhkan lapisan campuran Si 1-x Ge x sebagai basis. Sambungan tersebut dapat berupa sambungan yang abrupt atau graded. Pada penelitian ini dipelajari formulasi dari pengaruh konsentrasi doping terhadap tahanan basis dan bandgap narrowing pada Si/Si 1-x Ge x /Si Heterojunction Bipolar Transistor dengan sambungan emitter-basis yang abrupt, selain memperhatikan mobilitas dan lebar basis pada resistansi basis juga pengaruh fraksi mole pada energi bandgap. Dari hasil perhitungan menunjukkan bahwa penambahan konsentrasi doping dari N B =5.10 18 cm -3 menjadi N B =5.10 20 cm -3 pada basis dapat menurunkan nilai resistansi basis sebesar 3.6 %, menaikkan bandgap narrowing sebesar 0.126, dan meningkatkan kerapatan arus kolektor sebesar 1.36 kali pada Ge sebesar 24%.
AbstractStudy About High Influence Doping to Base Resistance and Bandgap Narrowing at Si/Si 1-x Ge x /Si Heterojunction Bipolar Transistor. Heterojunction is a link formed bedween two semiconductor materials and differend bandgap which has thinness under 50nm and grow the mixture of plate SiGe as bases. The link is an abrupt link or graded one. In this research learnt formulation of doping concentration influence to basis resistance and bandgap narrowing through Si/Si 1-x Ge x /Si Heterojunction Bipolar Transistor with abrupt emitter-basis link, besides taking care to mobility and basis wide to basis resistance, it is also influence of mole fraction to bandgap power. From the result shows that doping concentration addition of N B =5.10 18 cm -3 to N B =5.10 20 cm -3 in basis can decrease resistance basis value about 3.6%, increase bandgap narrowing about 0.126, and increase collector current density for about 1.36 times to Ge 24%.
Keywords : Heterojunction, doping, bandgap narrowing
PendahuluanKonsep awal HBT (Heterojunction Bipolar Transistor) telah disampaikan sekitar lima puluh tahun yang lalu tepatnya tahun 1951 oleh Shockley dan Kromer yang bertujuan untuk memperbaiki unjuk kerja dari sebuah transistor homojunction bipolar yang ada saat itu. Untuk memperbaiki unjuk kerja tersebut digunakan komposisi material yang menghasilkan bandgap lebih lebar pada emitter dibandingkan pada basis. Adapun unjuk kerja yang dimaksud adalah penguatan arus (current gain), efisiensi emitter dan kecepatan yang tinggi.Untuk memenuhi hal tersebut di atas maka digunakan beberapa teori [1]. Pertama memberikan konsentrasi doping yang tinggi pada emitter sehingga diperoleh penguatan yang besar, dengan konsentrasi doping yang tinggi pada emitter dapat menyebabkan penyempitan bandgap yang mengakibatkan peningkatan injeksi dari basis yang pada akhirnya akan mengurangi penguatan yang ingin diperoleh. Kedua untuk mendapatkan penguatan yang besar dan divais yang cepat, konsentrasi doping pada basis harus rendah dan basis harus dibuat tipis, akan tetapi hal ini dapat menyebabkan resistansi basis menjadi tinggi sehingga dapat menu...