Aspherization of high-accuracy optical elements by the vacuum-deposition method

Potelov, V. V.; Senik, B. N.

doi:10.1364/jot.71.000814

Cited by 1 publication

(1 citation statement)

References 0 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Но данным подходом не ограничиваются современные возможности формообразования оптических деталей [1,2]. Существенными дополнениями являются показавшие эффективность прецизионные технологии магнитореологической полировки [3][4][5], ионного травления [5][6][7] и методы формообразования посредством осаждения неравнотолщинных покрытий [8][9][10]. В основном эти технологии используют после механической полировки на этапе финишной корректировки оптических деталей, решения задач по созданию асферических или иных поверхностей со сложным профилем.…”

Section: Introductionunclassified

Application of induced mechanical stresses in formation of spherical surfaces of interference mirror substrates

Юрьевич¹,

Сергеевич²,

Евгеньевич³

et al. 2020

Naučno-teh. vestn. inf. tehnol. meh. opt.

View full text Add to dashboard Cite

Предмет исследования. Предложена методика формообразования поверхностей полированных подложек для интерференционных зеркал газовых лазеров, в частности, датчиков лазерных гироскопов. Основное внимание уделено изготовлению деталей из оптического ситалла марки СО-115М с заданной кривизной центральной области и плоской поверхностью периферийного кольца, предназначенной для установки на моноблочный корпус лазерного резонатора посредством оптического контакта. Метод. Требуемый результат формообразования достигался посредством шлифовки и полировки изделий в присутствии дозированных локальных механических напряжений, прикладываемых к мембране в центральной зоне подложки. При этом параметры профиля контролировались с применением методик интерферометрии управляемого фазового сдвига. Экспериментальные результаты сопоставлялись с данными математического моделирования с использованием инженерной программы конечно-элементного анализа. Основные результаты. Установлены характерные зависимости радиусов кривизны сферических поверхностей, получаемых в рассматриваемой технологии, при различных значениях механических нагрузок и геометрических параметров мембран. Особое внимание уделено рассмотрению величин максимального напряжения в образцах и их сопоставлению с предельными прочностными характеристиками материала. Показано, что рассмотренный технологический подход может оказаться эффективным при изготовлении подложек с параметрами, характерными для интерференционных зеркал резонаторов газовых лазеров, в том числе датчиков лазерных гироскопов. Кроме того, описанная технология может использоваться при изготовлении асферических поверхностей подложек. Практическая значимость. Рассмотренный в работе метод позволяет повысить производительность обработки оптических деталей в условиях массового производства. Ключевые слова полировка, сферическая поверхность, механические напряжения, ситалл, лазерная фазосдвигающая интерферометрия

show abstract