Application of MEMS sensors for the automation of a laboratory stand for the measurement of the flow resistance of porous materials

Melnyk, Mykhaylo; Rubacha, Jarosław; Kamisiński, Tadeusz; Majchrzak, Aleksandra

doi:10.1109/memstech.2018.8365695

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“…Os sensores de fluxo de massa vem sendo amplamente explorados e incorporadosà tecnologia dos MEMS com as mais diversas finalidades. Desde aárea médica (Inoue et al, 2018), passando por sistemas de medição e automacão (Melnyk et al, 2018), até instrumentos de detecção de gases (Gerdroodbary et al, 2018). Os sensores do tipo calorimétrico, especificamente, são apropriados para uma grande variedade de propósitos.…”

Section: Introductionunclassified

Projeto de microssensor de fluxo de massa para medição de velocidade de fluidos

Santos

Barbosa

Moreira

2019

Anais Do 14º Simpósio Brasileiro De Automação Inteligente

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In this paper, the main characteristics and steps for design and simulation of a thermal mass flow microsensor of calorimetric type are described, aiming to measure flow rate and fluid velocity. The device was designed computationally and its applicability evaluated based on the simulation data. The results leaded to conclude that flows speed between 0 and 14 m/s can be measured using the proposed sensor. Resumo: Neste trabalho são descritas as principais características e etapas de projeto e simulação de um microssensor de fluxo de massa do tipo calorimétrico, tendo como objetivo aferir vazão e velocidade de fluidos. O dispositivo foi projetado computacionalmente e sua aplicabilidade avaliada a partir dos resultados de simulação. Os dados obtidos permitiram concluir que a velocidades entre 0 e 14 m/s podem ser mensuradas por meio do aparato proposto.

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Section: Introductionunclassified