Analytical modelling of thermopile based flow sensor and verification with experimental results

Analytical modelling of the transient response of thermopile-based MEMS sensors

“…Based on the core analytical model introduced in [4], several special models were developed with the purpose of studying multipurpose sensor performance when the device is used for a specific application [5,6]. The same situation is with the model described in this work.…”

“…hermopile-based MEMS sensors belong to thermal type sensors with a broad range of applications (IC sensors, thermal converters, accelerometers, flow sensors, vacuum sensors, gas type sensors, chemical sensors …) [1][2][3][4][5][6]. Their performance depends on processes of heat transfer on the chip as well as on the thermal interaction between the sensor and the surrounding ambient.…”

“…We developed multifunctional sensors with p + Si/Al thermocouples and p + Si (P-type) or Al (A-type) heater which were succesfully tested as flow sensors, vacuum sensors and thermal converters [4][5][6]. The thermal isolating structure is a bilayer membrane consisting of sputtered silicon dioxide and a residual n-Si layer.…”

Ολοκληρωμένες Υβριδικές Διατάξεις Μίκρο-Ρευστομηχανικών Πολυαισθητήρων Στη Μεσοκλίμακα

“…Μια έστω συµπαγής αναφορά αυτών θα απαιτούσε την παράθεση εκτενούς ποσότητας πληροφορίας και ξεφεύγει από τα όρια του παρόντος. Μια πλήρης επισκόπηση των τύπων θερµικών αισθητήρων και των αρχών λειτουργίας τους βρίσκεται στην [1][2][3][4][5][6][7][8].…”

“…Στις περισσότερες περιπτώσεις η συνάρτηση µεταφοράς δεν είναι γραµµική, αλλά έχει πιο σύνθετη µορφή όπου είναι απαραίτητες πολυωνυµικές προσεγγίσεις ανώτερης τάξης. Να σηµειωθεί ότι γενικά, η φύση του ηλεκτρικού σήµατος Τ ποικίλει, καθώς µπορεί να είναι το πλάτος, η συχνότητα ή η φάση του ηλεκτρικού µεγέθους που καταγράφεται [1][2][3][4][5][6][7][8][9].…”