Mit Hilfe von SCF‐Xα‐SW‐Berechnungen wurde ein Vergleich der Bindungsverhältnisse zwischen dem tetraedrischen SiF4‐Molekül (Td), dem Hexafluorosilicatanion SiF62− (Oh) und dem fiktiven planaren SiF4‐Molekül (D4h) vorgenommen. Zur Bestimmung der Größe der Atomkugeln wurden die Slaterschen kovalenten Atomradien [11] und die nach Norman [12] ermittelten Ladungs‐ und Ordnungszahlradien benutzt. Es wurden die MO‐Analysen der Valenzniveaus der drei Moleküle durchgeführt und die Ladungsverteilungen berechnet.
Mit ab initio‐3‐21G‐Rechnungen wurden die Bindungslängen der Si‐F‐Spezies optimiert und mit früher durchgeführten CNDO/2‐Rechnungen verglichen.