Amorphous/microcrystalline transition of thick silicon film deposited by PECVD

Структурная Анизотропия Пленок Аморфного Кремния, Модифицированных Фемтосекундными Лазерными Импульсами-=sup=-*-=/Sup=-

“…Значение f C определяется с помощью следующего выражения [22,23]: Отметим, что в спектрах КРС ширина линии кристаллического кремния ω C = 520 cm −1 составляет ∼ 8 cm −1 для образцов 1, 2 и 3, а в случае образцов 4, 5 и 6 ширина данной линии оказывается равной ∼ 5 cm −1 . Это позволяет оценить размер кремниевых нанокристаллов по уширению линии КРС ω C = 520 cm −1 за счет пространственного ограничения оптических фононов в нанокристаллах [27].…”