2018
DOI: 10.31227/osf.io/yfeau
|View full text |Cite
Preprint
|
Sign up to set email alerts
|

A Review CHEMICAL VAPOR DEPOSITION : PROCESS AND APPLICATION

Abstract: Chemical Vapor Deposition merupakan metode deposisi yang digunakan untuk menghasilkan bahan padat berkualitas tinggi dan berkinerja tinggi yang biasanya dibawah vakum. Tujuan review ini adalah untuk mengetahui proses dan teknik dari Chemical Vapor Deposition. Prinsip kerja dari Chemical Vapor Deposition yaitu proses pengendapan senyawa/ unsur terjadi akibat reaksi dekomposisi kimia akibat aktivasi termal di seputar komponean yang dilapisi. Beberapa material yang dihasilkan dengan menggunakan metode Chemical Va… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1
1
1
1

Citation Types

0
7
0
36

Year Published

2018
2018
2023
2023

Publication Types

Select...
4
3
1
1

Relationship

3
6

Authors

Journals

citations
Cited by 42 publications
(45 citation statements)
references
References 71 publications
0
7
0
36
Order By: Relevance
“…Asam sulfat juga digunakan sebagai agen sulfonasi, sebagai dehydrator dan oksidator (157,158,159,160) . Gambar…”
Section: Sifat Senyawa Asam Sulfatunclassified
“…Asam sulfat juga digunakan sebagai agen sulfonasi, sebagai dehydrator dan oksidator (157,158,159,160) . Gambar…”
Section: Sifat Senyawa Asam Sulfatunclassified
“…Kraft Proses pertama adalah pemotongan kayu menggunakan mesin pemotongan dilanjutkan pengayakan. Kemdian kayu yang telah halus dimasukkan pada tempat penampungan lalu pemasakan yang dipanasakan dengan cara penguapan dam pengadukan dengan alat [76][77][78][79] khusus untuk pengadukan [80][81][82][83][84][85] pada digester pada tekanan tertentu. Hasil kemudian dikeluarkan lalu pencucian dengan air pencuci untuk memisahkan liquor nya.…”
Section: Proses Ketiga (Proses Produksi Kimia)unclassified
“…Bubur kertas tersebut ditambahkan O 2 dan NaOH, tujuan penambahan ini sebagai pengurangan lignin serta memutihkan pulp. Pulp yang tingkat keputihannya sudah mencapai standar lalu dikirim ke paper machine untuk diolah menjadi kertas [80][81][82][83][84][85][86][87] . Adapun beberapa tahap pengeloaan kertas pada industri kertas.…”
Section: Metode Pengolahan Kertasunclassified
“…c. Gaya tarik antar ion,semakin besar gaya tarik, semakin lambat gerakan ion. d. Temperatur,semakin tinggi temperatur [227][228][229][230][231] ,semakin cepat gerakan ion. e. Viskositas, semakin besar viskositas larutan, semakin lambat gerakan ion dalam larutan.…”
Section: Konduktivitasunclassified