2008
DOI: 10.1016/j.optlaseng.2007.11.002
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

A generalized temporal phase unwrapping algorithm for three-dimensional profilometry

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1

Citation Types

0
32
0
3

Year Published

2010
2010
2024
2024

Publication Types

Select...
9

Relationship

0
9

Authors

Journals

citations
Cited by 75 publications
(35 citation statements)
references
References 14 publications
0
32
0
3
Order By: Relevance
“…A unit frequency does not exist, which is conventionally used to disambiguate the high-frequency phases. Thus, the traditional phase unwrapping methods, such as excess fractions method [21], temporal unwrapping method [22,23], and heterodyning method [24,25], are not applicable.…”
Section: Related Workmentioning
confidence: 99%
“…A unit frequency does not exist, which is conventionally used to disambiguate the high-frequency phases. Thus, the traditional phase unwrapping methods, such as excess fractions method [21], temporal unwrapping method [22,23], and heterodyning method [24,25], are not applicable.…”
Section: Related Workmentioning
confidence: 99%
“…emporal Phase Unwrapping) 방법이 있는데, 시간 추적법이 상대적으로 잡음에 덜 민감하여 본 연구에서는 시간추적 위 상펼침을 이용하였다 [19][20][21] . 즉 위상의 기울기를 위상이동방법 과 위상 펼침을 이용하여 얻고, 이로부터 시료의 기울기 데 이터를 얻을 수 있으며, 이를 이용하여 식 (3)과 같이 최소자 승법을 이용하여 시료의 3차원 형상을 계산할 수 있다 [22][23][24] .…”
Section: 편향법unclassified
“…즉 위상의 기울기를 위상이동방법 과 위상 펼침을 이용하여 얻고, 이로부터 시료의 기울기 데 이터를 얻을 수 있으며, 이를 이용하여 식 (3)과 같이 최소자 승법을 이용하여 시료의 3차원 형상을 계산할 수 있다 [22][23][24] . [20] . Figure 3 …”
Section: 편향법unclassified
“…이렇게 측정한 는 wrapped 위상으로 시료의 기울기를 얻기 위해서는 위상 펼 침을 하여야 한다. 위상 펼침 방법에는 경로추적법 (Path-following Phase unwrapping)과 시간추적법 (Temporal Phase Unwrapping) 방법이 있는데, 시간 추적법이 상대적으로 잡음에 덜 민감하 여 본 연구에서는 시간추적 위상펼침을 이용하였다 [15][16][17] . 즉 위상의 기울기를 위상이동방법과 위상 펼침을 이용하여 얻 고, 이로부터 시료의 기울기 데이터를 얻을 수 있으며, 이를 이용하여 식 (3)과 같이 최소자승법을 이용하여 시료의 3차 원 형상을 계산할 수 있다 [18][19][20] .…”
Section: 투과형 편향법unclassified