Холловский Микроскоп Для Измерения Магнитных Свойств Пленок

Abstract

Описан магнитный измерительный микроскоп, обладающий пространственным разрешением определения координат токовых диполей 3 mum. В качестве первичного преобразователя используется пленочный датчик Холла с габаритами чувствительной зоны 250x 400 mum, размещенный на расстоянии 3 mm от плоскости сканирования. Сверхразрешение по сравнению с размерами датчика и расстоянием до объекта достигнуто путем использования априорной информации об объекте сканирования. Предложен способ калибровки магнитного микроскопа и измерения его метрологических характеристик. Сравнением случайной погрешности измерения координат токового диполя с пределом Рао-Крамера показана эффективность и состоятельность полученной оценки координат. Измерительный микроскоп может применяться при исследовании элементов функциональной электроники. DOI: 10.21883/PJTF.2017.15.44864.16434

Пространственные Характеристики Сверхпроводников И 3d-Холловский Микроскоп Для Их Исследования

“…Испытания показали, что благодаря использованию фиксаторов начала и конца перемещения столиков и применения принципа дифференциального перемещения разрешение системы позиционирования по трем координатам было лучше 1 µm. В [11] программноуправляемая система перемещения станка EP2006H (фирма Everprecision, Тайвань) обеспечивала точность позиционирования ∼ 5 µm по осям X, Y и ∼ 9 µm по оси Z при комнатной температуре. С целью достижения более высокого пространственного разрешения 3 µm автору пришлось промоделировать и корректировать показания ПХ для образца с ранее известной топологией.…”

“…Использование для наблюдения картины распределения ЗМП микроскопов на основе пьезопреобразователей с верхним пределом микроперемещений в несколько десятков µm вызывает определенные трудности, требуя сложных схем коррекции из-за гистерезиса и нелинейности перемещения [8]. Холловские микроскопы [7,[9][10][11] непосредственно измеряют индукцию поля и позволяют с высокой линейностью визуализировать магнитное мик-росостояние протяженных объектов. Однако они имеют сравнительно низкие пространственное разрешение и чувствительность к регистрируемому сигналу, что не позволяет отчетливо выделить спектры сигналов отклика объектов на слабое магнитное поле.…”

Исследование Соотношений Взаимности Для Нелинейного Многополюсника В Неоднородном Магнитном Поле

“…Соотношения же Онзагера симметрии кинетических коэффициентов [3] получены в линейном приближении для однородного магнитного поля. Возможность их при-менения для нелинейных систем требует обоснования.Для стационарной, однородной и нелинейной проводя-щей среды, находящейся в однородном магнитном поле, в релаксационном приближении были получены соотно-шения взаимности для тензора нелинейной проводимо-сти [4]. Однако их экспериментальная проверка не пред-ставляется возможной, так как измерительные зонды, вводимые в проводящую среду, исказят однородность полей в ней.…”