Начальные Стадии Роста Пленок Титаната Бария-Стронция На Подложке Полуизолирующего Карбида Кремния

Abstract

Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на подложках монокристаллического карбида кремния. Выбор подложки, обладающей высокой теплопроводно-стью, обусловлен возможностью применения данных структур в мощных сверхвысокочастотных устройствах. Определены диапазоны температур, разделяющие механизм поверхностной диффузии осаждаемых атомов от диффузии через газовую фазу при росте многокомпонентных пленок. Исследования показали, что массоперенос посредством поверхностной диффузии приводит к формированию зародышей малой высоты, покрывающих большую часть подложки, тогда как массоперенос атомов через газовую фазу приводит к образованию " столбчатой" островковой структуры с малым процентом покрытия подложки и большей высотой островков.А.В. Тумаркин и А.А. Одинец выражают благодарность за финансовую поддержку РФФИ (проект 16-29-05147 офи_м) и Минобрнауки России (государственное задание № 3.3990.2017.ПЧ).

Начальные Стадии Роста Пленок Цирконата-Титаната Бария И Станната-Титаната Бария На Монокристаллических Подложках Сапфира И Карбида Кремния

“…В этом случае наблюдается тенденция роста островка в высоту, для которой характерна минимальная степень покрытия пленкой подложки. Кроме того, смена механизмов массопереноса при увеличении температуры подложки ведет к ослаблению источника осаждаемых атомов и, как следствие, к уменьшению пересыщения, что в дальнейшем может приводить к ориентированному росту пленки [20,24].…”

Термостабильные Сегнетоэлектрические Конденсаторы На Основе Градиентных Пленок Титаната Бария-Стронция

“…Компонентный состав распыляе-мой мишени, давление и состав рабочего газа, расстоя-ние между катодом и подложкой -основные факторы, определяющие вид энергетического спектра распылен-ных атомов, процесс их переноса в пространстве дрейфа " мишень−подложка", энергетические и угловые распре-деления атомов, осаждающихся на подложку. Второй этап -это процессы, происходящие на по-верхности подложки, определяемые в первую очередь ее температурой [13,14].…”