Влияние потока низкотемпературной плазмы азота на морфологию, электрические и УФ-проводящие свойства пленок ZnO на сапфире

Abstract

Results of investigation of highly enthalpy low-temperature nitrogen plasma flow effect are generated by DC plasmatron on morphology, electric and UV-photoconductive properties of ZnO films on sapphire are given. It has been shown that the resistance of the ZnO films after treatment with nitrogen plasma grows 10(4) times and they exhibit a distinct response to ultraviolet illumination. UV current photosensitivity and current contrast of samples at 6 V had values on the order of 3.6 x 10-5 A/W and 16, respectively. Photocurrent rise and fall time ~ 0.45 s.

Влияние Состава Низкотемпературной Азотной Плазмы На Гидрофильные И Гидрофобные Свойства Покрытий На Основе Азотированного Оксида Титана

“…На следующем этапе образцы обрабатывались потоком низкотемпературной высокоэнтальпийной плазмы азота в открытой атмосфере. В качестве источника азотной плазмы использовался плазмотрон постоянного тока с вихревой стабилизацией и расширяющимся каналом выходного электрода [11,12]. Обработка образцов проводилась в открытой атмосфере с применением азотной плазмы со среднемассовой температурой 4−5 kK (далее образец типа I) и 7−9 kK (далее образец типа II).…”