Surface self-diffusion on Si from the evolution of periodic atomic step arrays

Keeffe, M.; Umbach, C. C.; Blakely, J. M.

doi:10.1016/0022-3697(94)90116-3

Cited by 125 publications

(78 citation statements)

References 31 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…We found that unless the system is purely DL, the height of the grating decays exponentially in time, agreeing entirely with the experiments of Keeffe et al [5]. Figure 1 shows that even when ℓ = λ x and the grating amplitude is 50 steps (values comparable to the experimental ones), an exponential decay fits the step model results better than an inverse linear decay.…”

supporting

confidence: 89%

Comment on “Nonclassical Smoothening of Nanoscale Surface Corrugations”

Israeli

Kandel

2002

Phys. Rev. Lett.

View full text Add to dashboard Cite

supporting

confidence: 89%

Comment on “Nonclassical Smoothening of Nanoscale Surface Corrugations”

Israeli

Kandel

2002

Phys. Rev. Lett.

View full text Add to dashboard Cite

“…As a result we derive a nonlinear, fourth-order PDE for h when steps interact via nearest-neighbor repulsions, describing the combined effect of step energetics and kinetics, and surface topography; see (4.39). Possible connections of this PDE to experimental observations [24,12] of decaying surface profiles, although incomplete at the moment [29], can be useful for predicting lifetimes and other properties of surface structures.…”

mentioning

confidence: 98%

Continuum Relaxation of Interacting Steps on Crystal Surfaces in $2+1$ Dimensions

Margetis¹,

Kohn²

2006

Multiscale Model. Simul.

142

View full text Add to dashboard Cite

Abstract. We study the relaxation of crystal surfaces in 2+1 dimensions via the motion of interacting atomic steps. The goal is the rigorous derivation of the continuum limit. The starting point is a discrete scheme from the Burton, Cabrera, and Frank model, which accounts for diffusion of point defects ("adatoms") on terraces and attachment-detachment of atoms at step edges. It is shown that the macroscopic adatom current involves a tensor mobility, which describes different fluxes in directions parallel and transverse to step edges, although the physics of each terrace is assumed isotropic. When the steps are everywhere parallel (straight or circular) the tensor character of the mobility is unimportant; in the general (2+1)-dimensional setting, however, it is crucial. Our methods consist of (i) the solution of the diffusion equation for adatoms via the separation of local space variables into "fast" and "slow," and (ii) the treatment of the step chemical potential for a wide class of step energies and repulsive interactions. Previous works using similar methods were mainly restricted to (1+1)-dimensional or axisymmetric geometries and entirely missed the tensor character of the mobility. The continuum limit of the step flow yields a fourth-order partial differential equation for the surface height profile.

show abstract

“…Массоперенос при спекании может определяться раз-ными механизмами [7], среди которых внутри по-ристого слоя определяющими являются объемная и поверхностная диффузия. Изменение размера внут-ренних пор r определяется диффузионной длиной [9], но оказывается значительно ниже, чем энергия активации объемной самодиффузии в Si: 4.86 эВ [10,11]. Это говорит о смешанном механизме диффузии, обеспечивающей массоперенос при спекании.…”

Section: изохронный отжигunclassified

Особенности Процесса Спекания Макропористого Кремния В Атмосфере Аргона

Астрова¹,

Преображенский²,

Павлов³

et al. 2017

Физика И Техника Полупроводников

View full text Add to dashboard Cite

Исследованы температурная и временная зависимости процесса спекания макропористого кремния в Ar и Ar+3%H2. Определен вклад различных механизмов, определяющих этот процесс. Особенности спекания макропористого кремния изучались с помощью изохронных и изотермических отжигов на образцах с регулярными и случайными макропорами в диапазоне 1000-1225oС. Установлено, что на спекание макропористого кремния при атмосферном давлении в потоке инертного газа, содержащего 2·10-4%O2, существенное влияние оказывает термическое травление. Термическое травление конкурирует с процессами переноса вещества, характерными для спекания, и препятствует формированию на поверхности бездефектной корки. Причиной травления является образование газообразной моноокиси кремния, которая уносится вместе с потоком газа. Эффект травления преобладает в области низких температур и не зависит от добавки водорода. Полученные значения энергии активации коэффициента диффузии Ea=2.57 эВ и показатель степени n=3.31-3.74 в зависимости радиуса пор от времени r~ t1/n свидетельствуют о смешанном механизме переноса вещества с помощью поверхностной и объемной диффузии атомов кремния. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44885.8544

show abstract

Surface self-diffusion on Si from the evolution of periodic atomic step arrays

Cited by 125 publications

References 31 publications

Comment on “Nonclassical Smoothening of Nanoscale Surface Corrugations”

Comment on “Nonclassical Smoothening of Nanoscale Surface Corrugations”

Continuum Relaxation of Interacting Steps on Crystal Surfaces in $2+1$ Dimensions

Особенности Процесса Спекания Макропористого Кремния В Атмосфере Аргона

Contact Info

Product

Resources

About