2005
DOI: 10.1016/j.memsci.2005.03.045
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Modelling of gas permeability for membranes prepared by PECVD

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“…23,48 Os filmes de DLC podem ser considerados como uma forma intermediária entre o diamante e a grafite. Dependendo da quantidade de hibridações sp 3 23,26,27 Comparando-se os filmes de DLC com os filmes de diamante, nota-se que os filmes de DLC apresentam também alta dureza Vickers 21 e são quimicamente inertes, tanto em ambientes alcalinos quanto em ambientes ácidos. A alta dureza e a resistência química dos filmes de DLC promovem o interesse por esses filmes para utilizações como camadas de revestimentos, para aumentar a resistência de materiais metálicos, 23,51,52,53 para utilização em óptica 23,54,55,56 e em componentes eletrônicos.…”
Section: Filmes De Carbono Amorfounclassified
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“…23,48 Os filmes de DLC podem ser considerados como uma forma intermediária entre o diamante e a grafite. Dependendo da quantidade de hibridações sp 3 23,26,27 Comparando-se os filmes de DLC com os filmes de diamante, nota-se que os filmes de DLC apresentam também alta dureza Vickers 21 e são quimicamente inertes, tanto em ambientes alcalinos quanto em ambientes ácidos. A alta dureza e a resistência química dos filmes de DLC promovem o interesse por esses filmes para utilizações como camadas de revestimentos, para aumentar a resistência de materiais metálicos, 23,51,52,53 para utilização em óptica 23,54,55,56 e em componentes eletrônicos.…”
Section: Filmes De Carbono Amorfounclassified
“…Com o confinamento dos elétrons é possível sustentar o plasma em pressões mais baixas. A taxa de deposição dos átomos arrancados do alvo no substrato, depende, entre outros fatores, da distância do alvo ao substrato e da pressão do gás de sputtering.2.6.2 Propriedades do Filme de Carbono AmorfoComo já foi mencionado anteriormente, as propriedades do DLC dependem da quantidade de hibridações sp3 , sp 2 e sp 1 e da concentração de hidrogênio nos filmes, o que depende também do método de deposição utilizado. Dessa forma, os filmes de DLC podem atuar em diferentes aplicações, como por exemplo, aplicações eletroquímicas onde se necessitam materiais eletrolíticos e em aplicações anticorrosivas, onde os materiais devem apresentar alta resistividade elétrica para atuarem como barreira a corrente de corrosão.…”
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