1977
DOI: 10.1002/crat.19770120206
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Liquidphasen‐Epitaxie von Si‐dotiertem AlxGa1−xAs

Abstract: Liquidphasen-Epitaxie von Si-dotiertem Al,Ga,-,AsFur 850 "C und A'si = 0,04 und 0,l wurden die Liquidus-und Solidusisothermen des quaternaren Systems Ga-Al-As-Si abgeschatzt, Epitaxieschichten mit Hilfe des Abkuhlverfahrens hergestellt und der EinfluB des Siliciums auf die Wachstumsgeschwindigkeit untersucht. Aus der Messung des Hall-Effektes wurden Aussagen uber die Abhangigkeit der Storstellenkonzentration vom Si-Gehalt der Schmelze gemacht. Die Donatorionisierungsenergien variieren von 32 bis 69 meV und fal… Show more

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