Interferometria Óptica Homódina Aplicada À Medições De Deslocamentos Nanométricos De Atuadores Piezoelétricos Flextensionais

Abstract

Neste trabalho, utiliza-se um interferômetro de Michelson de bai xo custo para mensurar deslocamentos de um novo at uador piezoelétrico flextensional (APF), projetado através da técnic a de otimização topológica. Avaliou-se a linearidade do deslocamento mecânico do APF através da técnica de dem odulação para baixa profundidade de modulação e da técnica J1-J4. Deslocamentos entre 2 nm e 160 nm foram mensurados para o novo APF, com um fator de linearidade de 1,27 nm/V.