2007 International Semiconductor Device Research Symposium 2007
DOI: 10.1109/isdrs.2007.4422396
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Design and simulation of strained Si/SiGe dual channel MOSFETs

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“…The strain induce effect occur when a SiGe layer is grown epitaxial on a thin silicon substrate. [24], [25] a simple identification of the device performance is represented by considering a relaxed SiGe layer, with the change in the molefraction value. The model used for the simulation is default drift-diffusion carrier transport mobility model.…”
Section: Fig 1 Cross Sectional View Of Sg-oi Jlctmentioning
confidence: 99%
“…The strain induce effect occur when a SiGe layer is grown epitaxial on a thin silicon substrate. [24], [25] a simple identification of the device performance is represented by considering a relaxed SiGe layer, with the change in the molefraction value. The model used for the simulation is default drift-diffusion carrier transport mobility model.…”
Section: Fig 1 Cross Sectional View Of Sg-oi Jlctmentioning
confidence: 99%
“…Inicialmente, tem-se a camada de silício no substrato; posteriormente é feito o crescimento gradual da liga de silício-germânio onde, com o aumento da espessura da camada da liga, a tensão mecânica também aumenta, atingindo uma espessura crítica e a partir desta espessura a camada sofre um relaxamento através da formação das discordâncias de misfit (60,61 (62). O simulador de dispositivos da Synopsys utiliza as leis fundamentais da física de semicondutores para a realização de suas simulações, calculando as características elétricas associadas à estrutura e suas condições de polarização, sendo alcançado através da aproximação pelo método dos elementos finitos do dispositivo em duas ou três dimensões com suas respectivas grades de pontos.…”
Section: Obtenção Da Tensão Mecânica Biaxialunclassified