Based on the results of X-ray structural analysis, changes in the crystalline structure that occurred during 15 years in surface layers of epitaxial films of iron-yttrium garnet implanted by B+ ions were studied. The processes that occur during the B+ ion implantation of in ferrite-garnet films, and the processes that accompany the low-temperature aging of ion-implanted films are considered. Strain profiles were determined from the experimental rocking curves, obtained immediately after ion implantation and after 15 years. It was found that the value of relative maximum deformation of surface layers decreases at constant thickness of the disturbed layer.
Based on the results of X-ray structural analysis, changes in the crystalline structure during natural aging and laser annealing, which occurred in near-surface layers of epitaxial films of LaGa-substituted Iron-Yttrium Garnet, implanted by F+ ions, were studied. The processes that occur during the ion implantation by F+ in ferrite-garnet films, and the processes that accompany the low-temperature aging of ion-implanted films are considered. From the experimental rocking curves, obtained immediately after ion implantation, after the laser irradiation and after several years, strain profiles were determined. Two stages in the changes of the crystalline structure of the nearsurface disturbed layer over time are revealed. During the first of them, the maximum deformation in the ionimplanted layer increased slightly, and on the second it decreased. It was established that the results of laser annealing and natural aging of near-surface layers implanted by F+ ions and laser irradiated LaGa:YIG films depend on the direction from which laser irradiation occurred. However, the result of their total exposure does not depend on the side of laser irradiation.
Розроблено методику отримання iнформацiї про розподiл параметрiв кристалiчної структури по товщинi приповерхневого iонно-iмплантованого шару, типи та характеристики радiацiйних дефектiв (розмiр, концентрацiю та iн.). Встановлено вплив основних дифракцiйних параметрiв на кривi дифракцiйного вiдбивання, що дало можливiсть розробити алгоритм наближення експериментальних кривих дифракцiйного вiдбивання теоретично обчисленими. Показано, що при невеликих дозах iмплантацiї на iнтенсивнiсть кривих дифракцiйного вiдбивання величина коефiцiєнта екстинкцiї µ ds найбiльше впливає за межами додаткової осциляцiйної структури, а величина статичного фактора Дебая-Валлера Eв межах останнiх осциляцiй додаткової осциляцiйної структури, якi вiдповiдають максимальнiй деформацiї. При цьому для характеристики дефектної системи необхiдно аналiзувати дифузну складову, використовуючи частину кривої дифракцiйного вiдбивання, яка розмiщена за додатковою осциляцiйною структурою i в якiй вклад когерентної складової є мiнiмальним. Методику апробовано при аналiзi iмплантованих iонами бору плiвок залiзо-iтрiєвого гранату. Представлений пiдхiд дає можливiсть отримати велику кiлькiсть iнформацiї про структуру iонно-iмплантованого шару, оскiльки використовує статистичну динамiчну теорiю розсiяння рентгенiвських променiв, яка враховує наявнiсть дефектiв кристалiчної структури будь-яких типiв та розмiрiв. Також даний пiдхiд дає можливiсть використовувати всю iнформацiю, яку несуть в собi кривi дифракцiйного вiдбивання, та оцiнити ступiнь однозначностi визначених параметрiвКлючовi слова: профiль деформацiї, дифракцiя рентгенiвських променiв, iонна iмплантацiя, дефекти структури, статистична динамiчна теорiя розсiяння рентгенiвських променiв UDC 538.911+519.688
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
hi@scite.ai
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.